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本文旨在應用無桿氣壓缸結合壓電致動器,發展XYZ 三軸長行程奈米精度伺服定位平台與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償。其中X 軸為獨立軸,YZ 兩軸固定在一起,構成龍門型…
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本文第一部分之研究,旨在發展一套高響應、高能源效率的電液泵控伺服系統。傳統的液壓伺服系統中,閥控系統具有高響應之優點,但能源效率較低;而傳統泵控伺服系統雖然具有較高的能源效率,但在響應上卻遠不及閥控…